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新着情報PICK UP: 2011年静電チャック用電源、動作時の動画をuploadしました
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静電チャック用電源、動作時の動画をuploadしました

2011.11.17

米国Trek社より、静電チャック(ESC)用電源を動作させている動画が
youtube経由でupされましたのでご紹介致します。

弊社、静電チャック用電源の特徴は
・任意の高電圧波形により脱着可能な為、波形の最適化に向きます。
・ウェハの吸着状態や有無を独立して検出可能です。
・お客様に合わせて特注仕様に対応可能です。

 

動作の内容や詳細については弊社までお問い合わせ下さい

動画リンク
http://www.youtube.com/watch?v=MIMa1knlrfA

お問い合わせ
http://www.trekj.com/contact/index.html