米国Trek社より、静電チャック(ESC)用電源を動作させている動画がyoutube経由でupされましたのでご紹介致します。
弊社、静電チャック用電源の特徴は・任意の高電圧波形により脱着可能な為、波形の最適化に向きます。・ウェハの吸着状態や有無を独立して検出可能です。・お客様に合わせて特注仕様に対応可能です。
動作の内容や詳細については弊社までお問い合わせ下さい
動画リンクhttp://www.youtube.com/watch?v=MIMa1knlrfA
お問い合わせhttp://www.trekj.com/contact/index.html
