トレック・ジャパン株式会社


		技術豆知識
			第1回　電子写真の印刷方法
			第2回　静電気障害（ESD）対策用製品の紹介
			第3回　四象限高圧アンプ
		表面電位計データ
		静電気測定表面電位計の解説
		高圧電源と高圧アンプリファイア
		ACフィードバック表面電位計の測定原理

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	表面電位測定
	静電気量の一つで、重要な物理量であり、且つ測定が難しいものに、表面電位（電圧）測定が挙げられます。既に記載しました通り、目的はESD障害を未然に防ぐ為の電位測定であっても、低電圧測定例では、1V或いはそれ以上の電圧測定が必要であり、一方高電圧測定側では3,000V或いは場合によってはそれ以上の電圧測定が求められています。　更に、より良い表面電位測定法の考察を進めれば、測定装置の空間分解能の制約を検討しなければなりません。表面電位装置は、一般に、プローブの測定孔が測定する面積内の、電荷が発生する電気力線によって形成された、電位の平均値を測定します。仮に、表面電位計が、ある一定の面積を測定する場合、その面積のうち、半分が＋3,000Vの電位を、またもう一方の半分が―3,000Vの電位を有していたとすれば、表面電位計は表面電位＝0Vを測定値として出力します。即ち、表面電位計がどれ位の面積を測定しているかを知ることは、測定上重要な情報ということになります。また、測定面積は、プローブと被測定面間の距離によって変化します。一般的に、被測定面に近づくと測定面積は小さく、即ち、空間分解能は高くなり、逆にプローブが被測定面から遠ざかると測定面積は大きくなり、空間分解能は低くなります。図1に代表的な表面電位計用のプローブの、プローブ―被測定面間距離と空間分解能の関係を示します。