| 観察領域 |
High resolution module ： 〜3.2x2.4mm
Low resolution module ： 〜21.3x16mm |
| 光学モジュール |
High resolution module ： 〜5μm/pixel
Low resolution module ： 〜33μm/pixel |
| 標準機能 |
ドットのハーフトーンの測定
（数 面積 直径 真円度 ドット%等） |
ラインとエッジの測定
（線幅 ぼやけ度 コントラスト 断裂 方位） |
面画像の測定
（RGB XYZ L*a*b* ΔE 粒状度 モトル） |
| 上級機能 |
空間周波数応答 (Spatial Frequency Response)
ノイズパワースペクトル (Noise Power Spectrum)
傾斜エッジ法を用いたカラーレジストレーション (Color Registration using the slant edge method) |
| カメラモジュール |
カラーCCD(640x480) |
| インターフェイス |
USB2.0 |
| PC仕様 |
Windows XP 搭載のPC 又は UMPC (高性能モバイル PC) |
