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製品一覧表面電位計静電気力顕微鏡 Model 1100TN
Model 1100TN
静電気力顕微鏡
 
 

計測例

・感光体上の静電潜像測定
電子写真(コピー機)に用いる感光体ドラム上の静電潜像です。
測定時間(回数)と共に表面電位が減衰し、滲んでいく様子が確認できます。


・帯電粒子(トナー)の電位分布


・Siウエハの帯電分布

 
仕様
空間分解能 10um以下
カンチレバー先端 5 x 5 um2
測定電圧範囲 ± 1000V
測定電圧精度 0.5% F.S.
測定電圧感度 1V以下
測定速度 最高250ms/plot
走査範囲 最大2mm2程度
走査ステップ幅 最小1um
測定モード 定点、ライン、3D
  本製品は日本大学理工学部の「中川・芦澤研究室」「伊藤・塚本研究室」との共同研 究により製品化しました