製品一覧
EOS/ESD 静電気関連製品
チャージプレートモニターカラー・液晶付きデータ記録端末(158)
チャージプレートモニター(157)
チャージプレートモニター(156A)
156A/157/158用イオン コレクタープレート
表面抵抗計(152)
ESDイベントディテクター(900A)
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A.C.フィードバック表面電位計(520-1)
A.C.フィードバック表面電位計(P0876A)
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静電気モニタリングシステム
非防爆仕様
複数個所の静電気をコンピュータで一括監視し、測定するシステムであり、サンプリングした測定データをコンピュータへ取り込み、解析することが出来ます。
・半導体製造
・LCD製造時での静電気監視
・種製造ライン上での静電気監視に最適
測定範囲
0〜±20,000V
精度
±5%[FS]
(測定距離：40〜60mmの範囲内)
サンプリング時間
(最小値)
100msec
使用条件
温度：15〜35℃
湿度：〜80%結露なきこと
測定距離
30〜50mmの範囲内
オプション
ピークホールド機能、
アラーム・アラーム履歴、
本体表示器、 その他多数有り
