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EOS/ESD 静電気関連製品
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表面電位モニター Model 541-1
表面電位モニター
非防爆仕様
距離依存性が少なく、微小面積の測定が可能。
センサー部はサイドビュー、エンドビューの2種類ご用意。
アナログ、RS232C出力、警報出力機能、ピークホールド機能搭載。
ISO9000トレーサビリティー対応。
・半動体製造時の静電気監視に、また各種製造ライン上での静電気監視に最適。
測定電圧範囲
0〜±1,000V
(Model 541-2：測定範囲0〜±100V)
モニター出力
電圧出力：0〜±10V(1/100)
電流出力：4〜20mA
精度
±1％以下[FS]
応答速度
50ms(1KVステップ入力時10〜90％)
電源
12V DC、
又は100V AC(専用アダプター使用)
寸法
15.2cmW×10.2cmH×21.6cmD
重量
0.77kg
表面電位計データ
静電気測定器表面電位計の解説
アプリケーションダウンロードページ(英文)
カタログダウンロードページ(英文)
Non-Contact Surface Charge/Voltage Measurements(英文)
Capacitive Probe - Principle of Operation(英文)
