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ピン型真空チャック
- 静電気拡散性（1ｘ108Ωcm)を有し、ガラスやウエハーの剥離時に帯電した表面電荷を逃がします。
- 表面にピン状凹凸を設け、基板との接触面積を低減させる事により帯電量自体も低減させる事が出来ます。
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ガラスの接触面積を1/20に低減します |
微細孔型真空チャック
- 0.2mmの微細幅の溝を表面に設ける事ができ、紙などの薄いシート基板の真空チャックに適用出来ます。
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紙用チャックと溝の拡大写真 |
- 鋳込み成形リブ軽量化も可能。
最大サイズ ：1550×1350×40mm
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- 摩耗、経年変化が殆ど無い高精度アルミナセラミックであり、リブ軽量化、組み合わせ大型化が可能です。
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１２枚鋳物定盤組合せて研磨仕上げ |
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８枚組合せの厚み相互差：５μｍ以下
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